無塵車間是指將空氣中的壓力、濕度、溫度等控制在一定指標,使空間環(huán)境符合一定的生產(chǎn)條件。
無塵車間按照清潔等級劃分為不同標準,不同的清潔等級潔凈度標準如下:
1、10級:0.1um濃度≤10,0.2um濃度≤2。該級別屬于高等級凈化工程,適用于精密、微型的電子科技行業(yè)。
2、100級:0.1um濃度≤100,0.2um濃度≤24,0.3um濃度≤10,0.5um濃度≤4,該級別為常見等級,應用于醫(yī)藥行業(yè)的無菌制造。
3、1000級:0.1um濃度≤1000,0.2um濃度≤237,0.3um濃度≤102,0.5um濃度≤35,1.0um濃度≤8,該級別應用于生產(chǎn)微型軸、光學器件。
4、10000級:0.1um濃度≤10000,0.2um濃度≤2370,0.3um濃度≤1020,0.5um濃度≤352,1.0um濃度≤83,該級別應用于生產(chǎn)液壓設備或食品飲料。
5、100000級:0.1um濃度≤100000,0.2um濃度≤23700,0.3um濃度≤10200,0.5um濃度≤3520,1.0um濃度≤832,5.0um濃度≤29,該級別應用于很多工業(yè)領域。
6、1000000級:0.1um濃度≤1000000,0.2um濃度≤237000,0.3um濃度≤102000,0.5um濃度≤35200,1.0um濃度≤8320,5.0um濃度≤293,該級別凈化程度較低,主要應用于印刷廠、包裝廠等對潔凈度要求不高的行業(yè)。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱級別中的千級。
無塵車間地址的選擇應符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費用的原則。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。
廠址應設在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側(cè)面,且有一定的防護距離。